| 編號 | 條目 | 指標 |
|---|---|---|
| 1 | 型號 | ADFR-FT4 |
| 2 | 材質(zhì) | ADFR-Polymer |
| 3 | 尺寸 | 外徑φ8mm,內(nèi)徑中4mm |
| 4 | 摩擦系數(shù) | 晶圓表面(鏡面)>4;晶圓表面(Ra 0.3)>3 |
| 5 | 法向粘附力 | 晶圓表面≤0.1N/cm |
| 6 | 壽命 | 一年,可循環(huán)次數(shù)受具體使用場景影響幅度較大 |
| 7 | 工作溫度 | 長期:-40°C~260℃C |
| 8 | 工作氣壓 | 常壓或真空環(huán)境 |
| 9 | 產(chǎn)品工作環(huán)境潔凈度 | Class 100級及以上超凈間 |
| 10 | 適用晶圓材質(zhì) | Si,Sapphire,Glass,LiTa02,Si02 |
| 11 | 適用基板形狀 | 圓形,方形,環(huán)形 |
